技術參數
1．測量范圍：X軸700 mm，Y軸 1000 mm，Z軸660 mm  
2．結構型式：活動橋式，三軸均采用精密氣浮式導軌
3．傳動方式：直流伺服系統 + 預載荷高精度空氣軸承
4．光柵系統：開放式光柵尺，分辨率0.078μm
5．機    臺：高精度花崗巖平臺
6．機臺承重： 900kg
7．整機重量： 1255kg
8．整機尺寸(LWH)： 1250mm X 1910mm X 2696mm      
9．使用環境：溫度(20±2)℃，濕度55%-65%
10．空氣壓力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
11．空氣流量：100 L/min – 120 L/min
配置：
Accurcay測量精度：(1.9+L/300)um　
Resolution分辨率： 0.078um
Voltage使用電壓：220V/50HZ
Including standard accessories:標準附件A+B
A）：Standard accessories:標準附件
-Machine Stand 機架+機器本體
- FBII 控制器
-Air Filter 空氣過濾器（AF20+AFM20+調壓閥）
-Joystick  單搖桿操縱手柄
B）： 測量探頭及軟件和附件
- PH10M                自動旋轉可重復分度測頭
-SP25+SM25-1       掃描測頭
- PHC10-3  PLUS   測頭控制盒
-陶瓷校準球,          直徑25mm(含固定底座)
-STYLUS 測針Φ1.0   1pcs 長度21mm
-STYLUS 測針Φ2.0   1pcs 長度21mm
-STYLUS 測針Φ3.0   1pcs 長度21mm
-Extension 加長桿     1pcs 長度20mm
-探針拆卸工具        2Pcs
- HPZ230 主機及液晶顯示器           1set    
-測量軟件：PC-DMIS                    1set